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TYFB-3600

  • 发布时间: 2014/5/10 0:10:04/li>

 

 

 

-1    TYFB-3600涡轮分子泵技术参数表

型号

TYFB-3600

进气口法兰

400 ISO-K

排气口法兰

100 ISO-K

抽气速率(L/S)(对空气)

3600

压缩比

N2

>108

H2

>6X102

极限压强(Pa)

<2×10-6

额定转速(rpm)

13500

使用轴承

进口陶瓷轴承

振动值(μm

0。15

启动时间(min)

<11

停机时间(min)

<16

建议采用的前级泵(LS

30-70

冷却方式

水冷

冷却水温度(℃)

25

冷却水流量(L/min)

1

泵体烘烤温度(℃)

<80

环境温度(℃)

5-40

安装方向

垂直±5°

泵重量(kg)

120

 

电话:010-62404831 010-62457208 传真:010-62404831
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